Halbleiterelektronik
Die Produktion von integrierten Schaltungschips erfordert hochspezialisierte Geräte, die in mehreren harten Umgebungen funktionieren können, z. B.:
● Plasma in einer Vakuumumgebung;
● Hohe Temperatur;
● Kontakt mit stark abrasiven Flüssigkeit;
● Exposition gegenüber vielen hochkarresiven Chemikalien.
Vorteil
● genaue Reproduktion des überall auf der Welt verfügbaren Materials
● Umfangreiche Materialauswahl, technische Unterstützung und Testfunktionen
● Bearbeitungsfunktion, Unterstützung der NPI -Anwendungsentwicklung des Simulationssystems
● Das breiteste Portfolio von Materialien, die für Nassprozesswerkzeuge ausgelegt sind
● Weltanführender Hersteller von CMP-Ringmaterialien, einschließlich Techtron®-PPS (Global Standard für CMP-Anwendungen)
● Materialien, die in Trockenprozesswerkzeugen wie Ätz-, CVD- und Ion -Implantation verwendet werden, um die Kosten zu senken und die Leistung zu verbessern
Gemeinsame Materialien
Acetal
Antistatische, statische dissipative und leitfähige Kunststoffe
CPVC
Fep
Fluoropolymerrohr
FR Polypropylen
Ectfe
PVDF
NYLON
SPÄHEN
HAUSTIER
PFA
Polyimidband
PC
Polypropylen
PSU
Pps
Ptfe
Pei
Epoxid
Phenol Baumwolltuch
Durostone
FR4/G10
Bakelit
Materialfestigkeit
Ø statische dissipative Noten
Ø chemische Resistenz
Ø Erzeugung mit geringer Partikel bei Lager- und Verschleißanwendungen
Ø niedrige Outgassing -Eigenschaften
Ø niedrige extrahierbare Werte bei hoher Reinheitschemikalien
Ø Hochtemperaturfähigkeiten
Ø dimensionale Stabilitäten
Typische Anwendungen
Lager und Buchsen
Chemische Panzer
Elektrische Isolatoren
Flexibler Schlauch
Wachen und Schilde
Polierringe
Spinten
Statische Steuerungsanwendungen
Prüfhöhlen
Ventilkomponenten
Waferhandhabungsteile
Nasse Bänke und Arbeitsstationen
Produkte und Anwendungen
Produkt | Anwendung |
Techtron®pps | CMP -Ring |
Semitron®CMP XL20 | Ätzkammer und CVD -Reaktionskammer |
Ketron®1000 Peek | Waferübertragung |
Ertalyte®pet-P | Nassprozessstruktur |
Duratron®pai | Nassprozesskomponenten, HP Chemical- und Wasserspeicherbehälter Liner |