Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 -Formen besitzen einen hervorragenden Wärmewiderstand und niedrige Auslöser und Erosion in Plasmakammern. Dieses hohe Reinheitsmaterial mit niedrigem Ionengehalt wird häufig für Vakuumkammeranwendungen in Subsegmentierungen zwischen Rad-, CVD und Ionimplantat in der Halbleiter- und Elektronikindustrie ausgewählt.

Semitron® MPR 1000 zeigt eine erhöhte Lebensdauer gegenüber herkömmlichen Materialien, beispielsweise in einigen Fällen in Ozon bis zu 25x über Polyimid. Aufgrund seiner Langlebigkeit wird es gegen traditionelle Materialien spezifiziert, die in Vakuumkammeranwendungen wie Quarz, Keramik, Polyimiden und anderen technischen Kunststoffen verwendet werden.

Materialeigenschaften

Niedriger ionischer Gehalt und geringe Ausgasung

Ausgezeichneter Wärmewiderstand

Minimierte Erosionsrate in Plasmakammern

Optimale Chipbeständigkeit, Haltbarkeit und Verwirrbarkeit

Speziell für anspruchsvolle Kammeranwendungen entwickelt

Anwendungen: Vakuumkammern auf Plasmabasis, Klemmeringe, Grabenringe, Schrauben, Stifte, Duschköpfe, Fokusringe, Isolatoren, Vakuumpolster

Über Semitron ®

Die Semitron® Semiconductor Grade -Produkte wurden entwickelt, um Designern und Benutzern zu helfen, die Leistung von Geräteherstellungsgeräten zu optimieren. Zusätzlich zur Herstellung von Geräten sind viele dieser Materialien ideal für bestimmte Umgebungen, in denen Verschleißresistenz, chemische Resistenz und die Behandlung von statischen Strom erforderlich sind.

Es wurden zwei Produktgruppen entwickelt. Eine, gut geeignet für Gerätehandhabungs- und Testanwendungen und eine Sekunde für CMP-, Plasma- und Ätzkammeranwendungen der nächsten Generation.

Semitronquoten sind in Blatt, Stab (einige Formulierungen) und bearbeitete Teile erhältlich.