Peek zum Halbleiter Tecapeek CMP Natural Ensinger

Was ist CMP -Halterring oder CMP -Stützring, Waferanleitung usw., CMP -Halterring ist am Boden des Schleifkopf Oberfläche des Wafers. Es ist ein wichtiger Bestandteil des CMP -Geräts.

Das chemische mechanische Polieren (CMP) ist eines der wichtigsten Prozesse in der Hemiconductor -Herstellung heute. In den letzten Jahren, da die Wafergröße größer geworden ist, ist die Chipgröße kleiner geworden und die Kreisverkabelung ist dünner geworden. Um die ideale Beschichtungsfilmdicke und die Anforderungen an die Beschichtung auf einer idealen Ebene während des Herstellungsprozesses zu erhalten

Im CMP -Prozess steht der CMP -Halterring mit verschiedenen Aufschlämmungsmaterialien in Kontakt, und der CMP -Halterring ist erforderlich, um gegen chemische Korrosion und Verschleiß resistent zu sein. Es muss auch in der Lage sein, mechanischen Belastungen standzuhalten und sollte eine gute Elastizität, Zähigkeit und Stärke haben. Um den Ertrag zu erhöhen, ohne den Wafer zu beschädigen, erfordert der CMP -Halterring auch eine extrem hohe Genauigkeit.

Das chemische mechanische Polieren (CMP) ist ein Schlüsselprozess bei der Herstellung von Halbleiter. Da die Wafergröße größer geworden ist, ist die Chipgröße kleiner geworden, und die Schaltkreisverkabelung ist dünner geworden, die Präzisionsanforderungen der peripheren Komponenten im CMP Bearbeiteter Teil

CMP -Halterring

Die Produktmerkmale des von unserem Unternehmen erstellten CMP -Ringring -Ringes:

1. Rohstoffe: Wir verwenden qualitativ hochwertige Kunststoffmaterialien, einschließlich PPS-, PPEK- und Peek-abgestoßener und temperierter Materialien, um eine hohe chemische Korrosionsbeständigkeit und Verschleißfestigkeit zu gewährleisten.

2. Herstellungsprozess: Wir verfolgen extrem hohe Produkte für Flatness -Management -Standards, die dazu beitragen, unnötige Fremdkörperkratzer durch den CMP -Halterring zu reduzieren und einen besseren Wafer -TTV -Wert im Vergleich zu Produkten anderer Hersteller zu bieten.

3. Reinigungsprozess: Wir verwenden eine hervorragende Oberflächenbehandlungstechnologie- und Reinigungsmethoden, um unnötige Kratzer aus Fremdkörpern zu reduzieren, die durch den CMP -Ringring verursacht werden.

4. Preisvorteil: Wenn wir uns auf die starken Rohstoffversorgung in China und die großflächige Produktion verlassen, bieten wir im Vergleich zu unseren Wettbewerbern wettbewerbsfähigere Preise an.

5. Gemeinsame Forschung und Entwicklung: Wir arbeiten eng mit unseren Kunden zusammen, um unsere Produkte zu verbessern und ihre verschiedenen Prozessanforderungen zu erfüllen.

6. Refurfhman: Wir können Kunden auch Renovierung und Regenerationsdienste für gebrauchte Produkte zur Verfügung stellen, die die Beschaffungskosten für Kunden senken und umweltfreundlicher werden.

7. Quality Control: Wir haben strenge Qualitätskontrollmaßnahmen, um die Konsistenz und Zuverlässigkeit unserer CMP -Ringprodukte zu gewährleisten. Jedes Produkt wird vor dem Versand inspiziert und getestet, um sicherzustellen, dass es unseren hohen Standards entspricht.

8. KOSTOMER -SERVICE: Unser Team ist bestrebt, außergewöhnlichen Kundenservice und Support zu bieten. Wir arbeiten eng mit unseren Kunden zusammen, um ihre Bedürfnisse und Anforderungen zu verstehen, und bemühen uns, ihre Erwartungen in jeder Hinsicht zu übertreffen.

Normalerweise wählen wir zwei spezielle technische Kunststoffe aus: PPS und PPS und PPE , um CMP -Halterringe zu verarbeiten und zu produzieren.

PPS-Material ist durch hohe Verschleißfestigkeit, gute chemische Resistenz und Lösungsmittelbeständigkeit sowie gute Reibungseigenschaften gekennzeichnet. Die Art von Material mit hoher Sinne, die den Wafer nicht kontaminieren, im Vergleich zu PPEK-CMP-Fix-Ring ist PPS-CMP-Fix-Ringkosten nicht kontaminieren. niedriger und hat eine komplette Industriekette gebildet, wobei die Familie die Kostenleistung hervorhebt.

Peek CMP-Halterring hat einen höheren Reibungskoeffizienten im Vergleich zu PPS-CMP-Haltering-Reibungsleistung ist hervorragender und hat einen umfassenderen und stabileren chemischen Widerstand, ein breiterer Bereich von Hochtemperaturwiderstand, so dass Peek CMP-Haltering im Langstücken in der Langzeit Die Begriffsumgebung mit hochfesterer Bearbeitungsumgebung stabiler, in relativen Zeiten, die gleichen Arbeitsbedingungen länger, aber die Kosten werden im Vergleich zu einigen ebenfalls höher sein.