Was ist das beste Material, das für CMP -Stützring verwendet werden kann

Was ist das beste Material für CMP -Stützring?

Siliziumwafer sind Siliziumwafer, die bei der Herstellung von Silizium -Halbleiterschaltungen verwendet werden, und dann im Produktionsprozess von Siliziumwafern und ist ein sehr wichtiger Glied. Wir hören normalerweise ein paar Zentimeter von Wafern, was den größeren Durchmesser des Durchmessers darstellt. Siliziumwafer, desto besser die Leistung dieses Siliziumgewasser Polierprozess wird auch immer anspruchsvoller, so

Während des Waferpoliervorgangs muss der CMP -Halterring den Wafer während des Poliervorgangs halten. Während des Polierprozesses werden verschiedene Chemikalien zugegeben, und diese Flüssigkeiten können die polierten Komponenten korrodieren, sodass der CMP -Halterring bestimmte mechanische Lasten, gute Flexibilität und Korrosionsbeständigkeit und andere Eigenschaften standhalten kann.

Zusammenfassend müssen wir Prozessoren für die Herstellung von CMP -Stützringen für eine sehr hohe Verarbeitungsgenauigkeit und dimensionale Stabilität benötigen, um das Kratzen von Wafern später zu verringern.

Normalerweise wählen wir zwei spezielle technische Kunststoffe aus: PPS und PPS und PPE, um CMP -Halterringe zu verarbeiten und zu produzieren.

PPS-Material ist durch hohe Verschleißfestigkeit, gute chemische Resistenz und Lösungsmittelbeständigkeit sowie gute Reibungseigenschaften gekennzeichnet. Die Art von Material mit hoher Sinne, die den Wafer nicht kontaminieren, im Vergleich zu PPEK-CMP-Fix-Ring ist PPS-CMP-Fix-Ringkosten nicht kontaminieren. niedriger und hat eine komplette Industriekette gebildet, wobei die Familie die Kostenleistung hervorhebt.

Peek CMP-Halterring hat einen höheren Reibungskoeffizienten im Vergleich zu PPS-CMP-Haltering-Reibungsleistung ist hervorragender und hat einen umfassenderen und stabileren chemischen Widerstand, ein breiterer Bereich von Hochtemperaturwiderstand, so dass Peek CMP-Haltering im Langstücken in der Langzeit Die Begriffsumgebung mit hochfesterer Bearbeitungsumgebung stabiler, in relativen Zeiten, die gleichen Arbeitsbedingungen länger, aber die Kosten werden im Vergleich zu einigen ebenfalls höher sein.